螺杆式无油机械真空泵是使用齿轮传动同步反向旋转的彼此啮合而不触摸的左螺杆与右螺杆作高速滚动，使用泵壳和彼此啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、构成多个级，气体在持平的各个槽内 ( 柱形等螺距 ) 进行传输运动，但无压缩，只要螺杆最末端的螺旋构造对气体有压缩效果。螺杆的各级间可构成压力梯度，以涣散压差和进步压缩比。各部空隙和泵转速对泵的功能有很大影响。在规划螺杆各部的空隙时，要思考胀大、加工及安装精度和工作环境 ( 如抽除含粉尘气体等 ) 等。该泵与罗茨真空泵相同不设排气阀。
     图 25 为日本橙山工业股份有限公司的 SDV-1500 泵的构造示目的。泵是立式构造，进气口在上方，排气口在中部，下部为电机和光滑油池。螺杆转子呈中空形，为悬臂支承构造。同步传动齿轮坐落轴承支座下面。变频电机经过联轴节与自动转子衔接。该泵的气体途径较短，且立式构造对扫除含微尘气体较为有利。泵外壳有水冷却，泵修理也便当。

这种类型的泵假如选用恰当的较简略螺杆牙型截面，则制作简略，可确保很高的加工精度，且简单动平衡。